真空泵选型中,选用的真空泵其工作介质和制造材料须满足工艺要求。真空泵应用,尤其是在医药、化工、电池等领域,抽取的介质往往是具有腐蚀性的气体,这时就要求设备要有相应的防腐措施。如酸碱气体需要有对应的防腐涂层或泵的材质改用不锈钢防腐蚀;带有灰尘或颗粒的气体时,要在泵入口前加除尘器、过滤器或泵本身对其有耐受性等等。 需连续生产的工艺中,所选用的真空泵必须满足连续性生产的需要。必要时,设置自动更换的备用真空泵,减少意外导致的生产中断。如果工艺过程中放气量越来越小,可以设置维持泵,以实现节能降耗。真空泵冷却水流量不够。解决方案:应加大冷却水的流量。真空泵不工作
干式机械真空泵的应用是普遍的,主要有以下几个方面:1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;2、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;4、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;5、用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。南京液体真空泵报价当真空泵的工作压力接近于其极限压力时,其实际抽速就趋近于零。
真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子,降低真空室内的气体压力,使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围,至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。因此,为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到较佳配置,选择真空系统时,真空泵选型应考虑下述各点:1、真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。2、每种泵都有一定的工作压力范围,因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。3、真空泵在其工作压力下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
真空泵机组易受哪些因素影响?蒸汽压力的影响,对真空泵机组影响比较大的因素就是蒸汽压力了。蒸汽压力波动幅度过大或者压力偏低对于机组影响都是很大的。因此蒸汽压力不应低于要求的工作压力,但所用设备的结构设计已定型,过多提高蒸汽压力并不会增加抽气量及真空度。冷却水,同样在真空设备中有着很重要作用的冷却水,也是会对机组的使用造成很大的影响的,冷凝水将蒸汽充分冷凝,排出压力中的水蒸汽分压要高于其所对应的饱满蒸汽压,因此水的温度也要低于该压力下的饱满温度,才能保证泵体的正常作业。真空泵的真空度上不去?
真空泵按其性能特点及用途分类:按其性能特点及用途分类可以分为:低真空泵、中真空泵、高真空泵、超高真空泵。1.低真空泵: 极限压力高于102Pa的真空泵属于低真空泵。常见的有往复式真空泵、旋转式真空泵、液环式真空泵、喷射式真空泵以及吸附式真空泵。2.中真空泵: 极限压力在102~10-1Pa的真空泵属于中真空泵。常见的有罗茨真空泵、多级喷射式真空泵、多级旋转机械真空泵以及高速旋转式机械真空泵等。3.高真空泵: 极限压力在10-1~10-5Pa的真空泵属于高真空泵。常见的有各种扩散泵及分子泵等。4.超高真空泵:极限压力低于10-5Pa的真空泵属于超高真空泵。主要用各种离子泵、低温泵等。真空系统有很多的抽速,每一个抽速的含义是不一样的。哈尔滨电磁式真空泵
新真空泵,抽除清洁干燥的气体时,建议在工作100小时左右换油一次。真空泵不工作
真空泵特点:(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速;(2)转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大幅降低驱动功率,从而可实现较高转速;(3)泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;(4)泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;(5)压缩比较低,对氢气抽气效果差;(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。真空泵不工作
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